適用于:SMA、VCM高度差檢測(cè)
特點(diǎn):
Tray盤不停機(jī)自動(dòng)上下料系統(tǒng)
3D鐳射線掃描檢測(cè)DUT高度差
可視化軟件界面
檢測(cè)精度:
X軸:0.0183-0.0227mm
Z軸:0.002mm
UPH:1600 pcs/hr